| 手臂数 |
2（正面*2） |
| 可安装探针 |
1172系列，CP1072系列 |
| 测试步数 |
999999步 |
| 测量参数和测量范围 |
电阻测量 |
40.00 μΩ ~ 40.00 MΩ |
| 绝缘电阻测量 |
1.000 kΩ ~ 500.0 MΩ |
| 电容测量 |
100.0 fF ~ 10.00 μF |
| 漏电流测量 |
1.000 μA ~ 10.00 mA |
| 高压电阻测量 |
1.000 kΩ ~ 500.0 MΩ |
| 电容绝缘电阻 |
1.000 kΩ ~ 10.00 MΩ |
| 开路测量 |
4.000 Ω ~ 4.000 MΩ |
| 短路测量 |
400.0 mΩ ~ 40.00 kΩ |
| 判定范围 |
−99.9% ~ ＋999.9%, 或绝对值 |
| 综合定位精度 |
□20μm (注: 根据检查条件有所限制) |
| 测点最小间距 |
50μm (使用探针CP1072-01时, L-R手臂间距) |
| 测量时间 |
Max. 100步/秒 (0.1mmX-Y移动，2手臂同时探测 电容测试) |
| 可测试基板尺寸 |
50(W) × 50(H) ~ 610(W) × 510(H)mm, 厚度 0.1mm~ 3.2mm |
| 最大可测区域 |
610mm(W)× 510mm(H) |
| 基板固定 |
水平放置，真空吸附 |
| 电源 |
AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V单相 (订购时指定) 50/60 Hz, 最大功耗：3 kVA |
| 体积及重量 |
1303(W) × 1194(H) × 1167(D)mm±10mm (突出部分除外) 900 kg±50kg |
